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半導體有機廢氣怎么處理？半導體廢氣治理有哪些好辦法？

2022/5/23 9:43:29　/　作者：廢氣處理設備公司　/　來源：山藝環保

半導體行業中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量有機物成分，在工藝過程中，這些有機溶劑大部分通過揮發成為廢氣排放。其廢氣的主體是VOCs，同時廢氣中還混合了HCl、氨、HF等危險污染物。半導體有機廢氣怎么處理？半導體廢氣治理有哪些好辦法？下面為您做簡單介紹：

半導體有機廢氣怎么處理？半導體廢氣治理有哪些好辦法？

半導體有機廢氣處理辦法

采用RTO設備處理

RTO蓄熱式氧化爐是在高溫下將可燃廢氣氧化成氧化物和水，凈化廢氣，并回收廢氣分解時所釋放出來的熱量，廢氣分解效率達到99%以上，熱回收效率達到95%以上。

直接燃燒法處理

有機廢氣風管廢氣收集→沸石轉輪吸附濃縮→直燃爐（TO）→煙囪排氣達標排放。

以上就是《半導體有機廢氣怎么處理？半導體廢氣治理有哪些好辦法？》的全部內容，山藝環保專注半導體廢氣處理13年，至今服務于中芯國際、中芯北方、中芯南方、中芯紹興、集電控股、積塔、有研、華虹、燕東微電子等半導體企業，中芯系覆蓋70%以上，擁有眾多半導體廢氣治理案例！如您有半導體廢氣處理需求，即刻聯系我們吧！

　

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